Beschichtung von elektrischen Kontakten, insbesondere Vergoldung durch Sputtern bei Atmosphärendruck

  • Hochwertige selektive Vergoldung
  • Wirtschaftlich bei kleinen Losgrößen
  • Diverse Legierungen realisierbar
  • Einfache Handhabung
  • Anwendbar bei speziellen Aufgabenstellungen
  • Keine Galvanikbäder oder Vakuumkammern

Parameter

  • Beschichtungsrate: > 3 nm/s
  • Beschichtungsfläche: von 1 x 1 mm2 bis 5 x 5 mm2
  • Es sind keine weiteren Maskierungen notwendig.
  • Die Schichtqualität kann durch ein zusätzliches BIAS
    (elektrische Spannung am Werkstück) gezielt beeinflusst werden.

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